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IM体育半导体行业废气处置体例无机废气和酸碱废气管理计划

作者:小编 来源:网络 时间:2023-03-18 点击:

[文章前言]: 山东某半导体公司是一家用心于碳化硅单晶衬底资料研发、出产和发卖的科技型企业。在半导体工艺制程中,必要利用多种特别气体、少量的酸、碱等化学品和无机溶剂和蒸发性液体,这些气体和化学品在半导体创设的差别工艺中利用会发生废气IM体育半导体企业废气普通分为酸性排气、碱性排气、无机废气、砷排和普通排气等。  在做废气处置装备前段,必要对半导体出产车间的废气停止搜集,经过透风管道体系加入废气处置装备,能力有

  山东某半导体公司是一家用心于碳化硅单晶衬底资料研发、出产和发卖的科技型企业。在半导体工艺制程中,必要利用多种特别气体、少量的酸、碱等化学品和无机溶剂和蒸发性液体,这些气体和化学品在半导体创设的差别工艺中利用会发生废气IM体育半导体企业废气普通分为酸性排气、碱性排气、无机废气、砷排和普通排气等。

  在做废气处置装备前段,必要对半导体出产车间的废气停止搜集,经过透风管道体系加入废气处置装备,能力有用管理;

  酸性废气采取碱液洗濯塔,废气与氢氧化钠接收液停止气液两相充实打仗接收中庸反映,酸性废气颠末污染后,碱性废气加入第二段酸液洗濯塔,与稀硫酸接收液停止气液两相充实打仗接收中庸反映,碱性废气颠末污染

  怡帆电机定制的废气体系处置方案,VOCs排放浓度契合本地的排放尺度,在半导体行业中该体系装备更迷信、更平安、高效力的办理废气题目,IM体育性价比更高,且无二次净化。

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